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1. リソグラフィ - 用語辞典

【英】Lithography
リソグラフィとは、半導体を製造する際に、基板に光や電子ビームなどで回路パターンを転写する手法のことである。特に露光装置（ステッパ）を指してリソグラフィと呼ぶこともある。 リソグラフィの手法では、光性樹脂の膜が形成された基板上に、光や電子ビームなどで回路パターンを現像し、さらに保護膜としての薄膜を化学 ...

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1. リソグラフィ - 用語辞典

リソグラフィとは、半導体を製造する際に、基板に光や電子ビームなどで回路パターンを転写する手法のことである。特に露光装置（ステッパ）を指してリソグラフィと呼ぶこともある。 リソグラフィの手法では、光性樹脂の膜が形成された基板上に、光や電子ビームなどで回路パターンを現像し、さらに保護膜としての薄膜を化 ...