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SECS
フルスペル:SEMI Equipment Communications Standard
別名:半導体製造装置通信スタンダード
SECSとは、半導体製造工場においてホストコンピュータ等の工場内システムと半導体製造装置との通信に用いられる通信プロトコルの規格のことである。
SECSはSECS-IとSECS-IIという2種類の仕様からなる。IとIIは階層的位置づけが異なる。SECS-Iは通信を確立するプロトコルの仕様であり、SECS-IIはやりとりされるデータ(メッセージ)の定義である。
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SEMI Equipment Communications Standardについて言及している用語
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».m4b
MPEG-4オーディオファイルの拡張子。 up! |
».m4r
iPhoneの着メロにするAACファイルにつく拡張子。 up! |
».xlsx
Excel 2007で作成したファイルのデフォルトの拡張子。 |
».docx
Word 2007の標準的な保存形式。XML形式となっている。 |
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