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検索結果
検索した用語に一致する記事が1個見つかりました。
1.
アッシャー - 用語辞典
【英】asher
アッシャーとは、半導体の基板の製造工程などにおいて用いられる、アッシング(レジスト剥離)を行う装置のこと。 アッシングはフォトリソグラフィの過程で生じる不要なフォトレジストを除去することである。アッシングの主な方式としては、紫外線などを照射し光励起の作用を利用する方式と、高周波などによるプラズマ化 ...
検索した用語を含む記事が1個見つかりました。
1.
アッシャー - 用語辞典
アッシャーとは、半導体の基板の製造工程などにおいて用いられる、アッシング(レジスト剥離)を行う装置のこと。 アッシングはフォトリソグラフィの過程で生じる不要なフォトレジストを除去することである。アッシングの主な方式としては、紫外線などを照射し光励起の作用を利用する方式と、高周波などによるプラズ ...
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