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1. ピエゾ駆動装置 - 用語辞典

読み方：ピエゾくどうそうち
【英】PIEZO drive
ピエゾ駆動装置とは、制御技術で用いられる駆動装置の一種で、電圧がかかると伸縮する圧電素子であるピエゾ素子を用いた駆動装置のことである。ピエゾ素子にかかる電圧によって、微小な動きが求められる対物レンズの焦点面位置が制御されている。作動装置やセンサー、微細加工など、制御技術の分野では大変注目を集めている ...

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1. ピエゾ駆動装置 - 用語辞典

ピエゾ駆動装置とは、制御技術で用いられる駆動装置の一種で、電圧がかかると伸縮する圧電素子であるピエゾ素子を用いた駆動装置のことである。ピエゾ素子にかかる電圧によって、微小な動きが求められる対物レンズの焦点面位置が制御されている。作動装置やセンサー、微細加工など、制御技術の分野では大変注目を集めてい ...