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1. リソグラフィ - 用語辞典

【英】Lithography
リソグラフィとは、半導体を製造する際に、基板に光や電子ビームなどで回路パターンを転写する手法のことである。特に露光装置（ステッパ）を指してリソグラフィと呼ぶこともある。 リソグラフィの手法では、光性樹脂の膜が形成された基板上に、光や電子ビームなどで回路パターンを現像し、さらに保護膜としての薄膜を化学 ...

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1. リソグラフィ - 用語辞典

リソグラフィとは、半導体を製造する際に、基板に光や電子ビームなどで回路パターンを転写する手法のことである。特に露光装置（ステッパ）を指してリソグラフィと呼ぶこともある。 リソグラフィの手法では、光性樹脂の膜が形成された基板上に、光や電子ビームなどで回路パターンを現像し、さらに保護膜としての薄膜を化 ...

2. 光造形法 - 用語辞典

光造形法とは、光硬化樹脂（フォトポリマー）に光を照射して樹脂形成を行う方式のことである。主に立体物の形成（3Dプリンティング）技術などに利用されている。 光造形法では一般的に、紫外線レーザーと、紫外線に反応して硬化する樹脂が使用されている。露光による硬化を断面の積層のように積み上げていき、最終的に ...

3. トップダウン法 - 用語辞典

トップダウン法とは、大きなものから小さな物を生み出す微細加工技術の総称である。おおむね、従来の技術が高精度化した場合に実現される。種類としてはリソグラフィやエッチング技術などがある。 トップダウン法に対して、原子や分子レベルの小さな物質を生成して拡大していく微細組立方法のことが、ボトムアップ法と呼 ...

4. 紫外線 - 用語辞典

紫外線とは、光の波長が100nm～400nmと短い光線のことである。 紫外線は、人の目に色は見えない（不可視光線である）が、太陽から地球に届く光線の中では最もエネルギーが高いものである。そのエネルギーの高さから、殺菌消毒などに広く利用されている他、体内でのビタミンD合成、血行や新陳代謝などを促進す ...