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1. MEMS - 用語辞典

フルスペル：Micro Electro Mechanical Systems
別名：微小電気機械システム
MEMSとは、微小な電気機械システムに関する技術の総称である。用語としてのMEMSは、主に米国で用いられる。MEMSはいくつかの異なる意味で用いられる場合があるが、通常はシリコンプロセス技術が用いられたマイクロな構造体、センサー、ないしはアクチュエータに関する技術を指す。

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1. MEMS - 用語辞典

MEMSとは、微小な電気機械システムに関する技術の総称である。用語としてのMEMSは、主に米国で用いられる。MEMSはいくつかの異なる意味で用いられる場合があるが、通常はシリコンプロセス技術が用いられたマイクロな構造体、センサー、ないしはアクチュエータに関する技術を指す。

2. マイクロマシン - 用語辞典

マイクロマシンとは、構成部品のサイズが数ミリメートル以下であるような微小なシステムのこと、あるいは、それらから構成される機能要素のことである。 マイクロマシンの特徴としては、省資源であること、省スペースであること、省エネルギーであること、などが挙げられる。スケールとしてはミリメートル単位からナノメ ...